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高纯金属有机化合物
2017-4-27
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:  3811        作者:未知
  • 高纯金属有机化合物
       高纯金属有机化合物即MO源是先进的金属有机化学气相沉积（简称MOCVD）、金属有机分子束外延（简称MOMBE）等技术生长化合物半导体材料的支撑材料。化合物半导体材料是21世纪信息技术-光电子技术的基础。MO源的研制是集极端条件下的制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的现代高新技术。
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